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洁净百级热风循环高温箱验收方案
发表时间:2019-08-26     阅读次数:     字体:【

1,概述??


杰薛系列百级洁净热风循环高温箱利用风机调风量对设在箱内100级洁净高效空气过滤器进行热空气循环,同时排除箱内的饱和热气,从而达到对试件进行干燥灭菌。


高温箱采用低噪音风机输送循环风,高温箱内空气进不锈钢电加热管加热,热空气由风机抽动,经高效过滤器洁净后的风通过匀风栅分流后进入工作室进行干燥和灭菌,含水的湿热空气通过排风口排出机,高温箱内置测温点,其所需温度可自动调节控制。操作方法十分简单。


2,热风循环高温箱有下列结构部分组成

杰薛系列百级洁净热风循环高温箱采用优质碳钢做骨架,内部和外部用低碳奥氏体不锈钢制造。保温绝缘料为无碱细玻璃棉,加热元件为不锈钢电加热器,换热面积大,效率高。在高温箱顶部有一个耐高温中效排湿口,一个有耐高温高效过滤器补充新风口。箱内装有若干个耐高温高效过滤器,热风每循环一次都经过高温高效过滤器过滤处理。

3,工厂接受测试的目的??


通过一系列试验性的测试证明该设备在投入装箱前(即出厂时)产品质量与性能的可靠性,其是在供需双方或有资质第三方单位特定监控下的测试,以证明RXH-B系列百级洁净热风循环高温箱产品能满足设计确认(DQ)基本要求、产品出厂标准以及国家相关规范要求。

4。工厂接受测试的确立?

4。1确立的条件??


?当杰薛系列百级洁净热风循环高温箱经过设计确认(DQ)而制造与调试完成后,在出厂装箱前需双方或有资质第三方单位特定监控下的测试。有的测试项目在制造商现场无法确认,将这些项目委托有资质第三方单位检测,并需以产品抽检检测报告为依据;有的项目则可在装箱前的现场样机进行检测,需用户技术代表与产品制造商技术代表共同参与,并确认。最后以产品工厂接受测试报告(FAT)形式交用户备案。

4。2测试依据??

(1)?RXH-B百级洁净热风循环高温箱设计确认;

(2)Q/TGQB 11-2001企业标准;

(3)GBT5226.1-1996工业机械电气设备第1部分:通用技术条件

(4)中国GMP(1998)及美国FDA相关规定

(5)其他国家相关规定

5.产品参数标准阐述

5.1用途:

洁净高温试验箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂胶后的软烘焙Soft baking),曝光、显影后的坚膜硬烘(Hard baking)等工艺,适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。


5.2洁净高温箱特点:

1),在普通环境下使用,能够确保试验箱内部等级达到Class 100;

2),美国进口温度控制器,控制精度可达0。05℃;

3),耐高温风机,合理风道构成热风循环系统,保证室内温度均匀性;

4),密封设计保证试验箱在200℃高温运行时完整的密封效果;


5.3,技术参数:

1),内箱尺寸:500*500*500mm(定制)

2),外箱尺寸:980*932*1500mm(预估)

3),温度范围:室温RT+10~200℃

4),温度均匀度:±2 (空载时)

5),控制精度:0.05 ℃

6),升温速率:0~7℃/min

7),其他:4层样品架订制(空间层高约90mm)



 
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